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具有较好短沟道效应控制的MOS晶体管及其相应制造方法

摘要

一种集成电路,所述集成电路包含至少一个MOS晶体管(T),所述MOS晶体包括栅极(GR),所述栅极具有与栅氧化物层接触的底部。所述底部在源区和漏区之间沿所述栅极的长度具有不均匀的功函数(WFB、WFA),在所述栅极末端的功函数的值大于在所述栅极中央的功函数的值。所述栅极在中央含有第一材料(A),在其余部分中含有第二材料(B)。这种结构例如通过硅化实现。

著录项

  • 公开/公告号CN101313386A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2008-11-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 皇家菲利浦电子有限公司;

    申请/专利号CN200680037078.4

  • 申请日2006-12-07

  • 分类号H01L21/28(20060101);H01L29/49(20060101);H01L21/8238(20060101);

  • 代理机构11290 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人褚海英;陈桂香

  • 地址 荷兰艾恩德霍芬

  • 入库时间 2023-12-17 21:02:23

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-01-21

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L21/28 授权公告日:20100908 终止日期:20131207 申请日:20061207

    专利权的终止

  • 2010-09-08

    授权

    授权

  • 2009-01-28

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2009-01-21

    专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移) 变更前: 变更后: 登记生效日:20081219 申请日:20061207

    专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移)

  • 2008-11-26

    公开

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