公开/公告号CN101292326A
专利类型发明专利
公开/公告日2008-10-22
原文格式PDF
申请/专利权人 艾西米克股份有限公司;
申请/专利号CN200680039252.9
申请日2006-11-01
分类号H01L21/02(20060101);
代理机构11204 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司;
代理人余朦;王艳春
地址 韩国大田市
入库时间 2023-12-17 20:58:06
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-08-18
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/02 公开日:20081022 申请日:20061101
发明专利申请公布后的视为撤回
2008-12-17
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-10-22
公开
公开
机译: 半导体制造中故障检测与分类的统计分析
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