公开/公告号CN101275219A
专利类型发明专利
公开/公告日2008-10-01
原文格式PDF
申请/专利权人 气体产品与化学公司;
申请/专利号CN200710306176.X
申请日2007-11-28
分类号C23C16/22(20060101);C23C16/30(20060101);C23C16/40(20060101);C23C16/34(20060101);
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人段晓玲;韦欣华
地址 美国宾夕法尼亚州
入库时间 2023-12-17 20:49:36
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-07-14
专利权的转移 IPC(主分类):C23C16/22 登记生效日:20170626 变更前: 变更后: 申请日:20071128
专利申请权、专利权的转移
2013-10-30
授权
授权
2008-11-26
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-10-01
公开
公开
机译: 用于改性氧化硅膜和氮化硅膜的介电性能的有机硅烷化合物
机译: 用于改性氧化硅和氮化硅膜介电性能的有机硅烷化合物
机译: 用于改性氧化硅和氮化硅膜介电性能的有机硅烷化合物