用来改变氧化硅和氮化硅膜的介电性能的有机硅烷化合物

摘要

本发明公开了沉积具有提高的耐蚀刻性的、包含碳的氧化硅膜或者包含碳的氮化硅膜的方法。该方法包括采用包含硅的前体、包含碳的前体和化学改性剂。本发明也公开了沉积具有提高的耐蚀刻性的氧化硅膜或者氮化硅膜的方法，包括采用有机硅烷前体和化学改性剂。