感光性组合物、图案形成材料、感光性层叠体、以及图案形成装置和图案形成方法

摘要

本发明提供相对于400～410nm波长的曝光光的感光度分布大致一定且不会被激光曝光时的曝光波长的偏差所影响、图案再现性出色、图案形状的偏差被极度抑制并可以在明室环境下进行处理的感光性组合物等。为此，该感光性组合物等的特征在于，至少含有粘合剂、聚合性化合物、光聚合引发剂、以及增感剂，该增感剂含有至少两种最大吸收波长为340～500nm的增感剂。