基于氧化锌的低压薄膜压敏电阻器

摘要

本发明公开了一种基于氧化锌的低压薄膜压敏电阻器，它由绝缘基底上面沉积的两个或多个由金属电极－氧化锌薄膜－金属电极构成的基本单元串连而成，其中氧化锌薄膜为高度c轴取向的柱状晶体薄膜；本发明的阈值电压可调，制作工艺简单，适应性较强。