连熔法生产IC产业用大口径石英玻璃管的方法

摘要

一种连熔法生产IC产业用大口径石英玻璃管的方法，其特点是，将高纯石英砂投入连熔炉内，通过电加热熔融，熔融后的石英玻璃液经成形器、料台及拉管机拉制成大口径石英玻璃管；连熔炉内的钨钼坩锅的直径为530mm，高度为1600mm；发热体钨棒直径为4.5mm，长度1100mm，钨棒根数为72根，均匀设置；通入连熔炉的电加热钼电极的电流为235－245A，电压为20－21V；熔融温度为2200℃；所述成形器的直径为340－350mm；连熔炉的料台直径为365－375mm；连熔炉内芯杆的长度为1900mm。它改善了生产工艺及设备中的多项技术参数，各技术参数之间相互关联、协同作用，提高了产品的质量与规格。