一种用于椭偏测量中的光强调节方法和装置

摘要

本发明涉及一种用于椭偏测量装置中光强调节的装置，包括在椭偏测量装置中还包括一线性偏振器12、用于固定线性偏振器12的中空的偏振器旋转台13、一数据采集器43、一控制箱41以及一电子计算机42；线性偏振器12放置在椭偏测量装置入射光轴上，处于线性起偏器14前，并与线性起偏器14的方位角有一个差θ(0°≤θ≤90°)。在进行光强调节时，由电子计算机42发出指令给控制箱41，控制箱41驱动偏振器旋转台13带动线性偏振器12围绕入射光轴旋转，从而改变线性偏振器12和线性起偏器14的方位角的夹角θ。在进行测量时，始终保持θ不变。该发明提供了对光强进行连续的大范围内的调节，且结构简单。