公开/公告号CN101238421A
专利类型发明专利
公开/公告日2008-08-06
原文格式PDF
申请/专利权人 MKS仪器股份有限公司;
申请/专利号CN200680029155.1
发明设计人 U·J·利弗-艾米;L·亨德勒;
申请日2006-07-05
分类号G05B23/02;
代理机构上海专利商标事务所有限公司;
代理人陈炜
地址 美国马萨诸塞州
入库时间 2023-12-17 20:32:26
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-03-23
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G05B23/02 公开日:20080806 申请日:20060705
发明专利申请公布后的视为撤回
2008-10-01
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-08-06
公开
公开
机译: 自校正多元分析,用于监视过程环境中的动态参数
机译: 自校正多元分析类型,用于监视过程环境中的动态参数
机译: 自校正多元分析用于过程环境中动态参数的监测