一种直排大气的罗茨干式真空泵转子及其型线设计

摘要

本发明涉及罗茨泵设计，具体地说是一种直排大气的罗茨干式真空泵转子及其型线设计。为多级转子组安装在中心轴上，两中心轴上的转子组相互啮合时两转子腰部圆弧啮合的最小距离δ在0.08mm～0.14mm之间；其转子组分为三部分：左转子块、销轴和右转子块，左、右转子块与销轴之间采用销孔定位、螺栓连接；所述转子块整体外轮廓线全部由圆弧组成，即由外圆面、两个腰部圆面和内圆面组成；所述多级转子组级间转子厚度按从进气口端到出气口端的方向按比例递减。本发明具有加工工艺简单、成本低，零件通用性强、适用于IC装备等特点。