直接从移动运输装置上卸载基片载体的基片载体搬运器

摘要

在本发明的第一方面中，一基片加载站用于连续传送基片载体的运输装置。一个基片载体搬运器作为该基片加载站的一部分，对其进行操作从而和运输装置交换基片载体，同时基片载体在运动中。载体交换过程可以包括使基片载体搬运器的端部操作装置以与运输装置的速度大体上相匹配的速度来运动。本发明还提供了许多其它的方面。