容积流体分配系统中流体状态的控制

摘要

一种用于控制半导体制造过程中供给管线中流体压力的改进的容积流体分配系统。该分配系统包括带有压力容器或脉冲阻尼器的基于泵的发动机。在泵－压力容器实施例中，控制器监测供给管线中的流体压力并调整容器的分配压力。在泵－脉冲阻尼器实施例中，控制器监测供给管线中的流体压力并调整泵的流速以将供给管线中的压力维持在预定的给定值。