公开/公告号CN101193909A
专利类型发明专利
公开/公告日2008-06-04
原文格式PDF
申请/专利权人 创新生命化学日本株式会社;
申请/专利号CN200680017648.3
申请日2006-05-23
分类号C07K5/078;C07K5/097;C07K5/117;H01M14/00;H01L31/04;
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人蒋亭
地址 日本京都府
入库时间 2023-12-17 20:19:29
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2009-02-04
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2008-06-04
公开
公开
机译: 光敏化合物,光酸发生器和抗蚀剂组合物含有光敏化合物,以及使用抗蚀剂组合物制造装置的方法
机译: 光敏化合物,包含该光敏化合物的光酸产生剂和抗蚀剂组合物以及使用该抗蚀剂组合物制造装置的方法
机译: 光敏化合物,包含该光敏化合物的光产酸剂和抗蚀剂组合物以及使用该抗蚀剂组合物的器件制造方法