法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-04-13
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C01B3/50 公开日:20080521 申请日:20071128
发明专利申请公布后的视为撤回
2008-07-16
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-05-21
公开
公开
机译: 利用具有一定吸收系数的透明辐射能和透明流体的透明辐射通道和传热流体的装置和方法,以及利用该装置和方法的液压系统
机译: 一种用于EUV光刻的膜组件的制造方法,一种膜组件,一种光刻设备以及一种装置的制造方法
机译: 一种用于EUV光刻的膜组件的制造方法,一种膜组件,一种光刻设备以及一种装置的制造方法