用于恶劣环境的涂层以及使用所述涂层的传感器

摘要

一种提供高耐磨性和耐化学性的涂层，所述涂层由选自钒、钼、铌、钽等的阻挡层(40)和类金刚石碳的外部层(50)构成。所述涂层尤其可应用于基于声波器件(AWD)的传感器，以及可应用于钝化电极(例如沉积在AWD传感区域上的电极(30))。所述涂层为涂敷声波器件提供优秀的机械和声学特性，允许所述传感器可以在恶劣的环境中工作。