激光列阵微孔成型装置与方法

摘要

本发明公开了激光列阵微孔成型装置与方法，步骤为：设置微孔板孔径、孔间距和孔型参数，制作加工文件；设定激光功率、脉冲宽度、脉冲重复频率和脉冲数；光束定位扫描参数的设定；工件定位：视觉系统定位，真空负压吸附探针导向板；设置开启辅助气体压力、流量，开始加工；加工完毕后进行孔径、孔间距和孔型参数测定。装置包括：高重复频率、超短脉冲紫外固体激光器、激光束发生器、准直扩束器、快门、光束定位扫描装置、CCD视觉对位系统、XYZ位移工作平台、真空负压吸附片架。本发明的有益效果是：克服现有机械冲孔方式效率低、“冲头”易受损、孔径尺寸变化等缺陷，将动感数码全息图直接压铸在贵金属纪念币材料表面，使纪念币更具观赏性。