用于感测多个扫描位置中的物理属性的系统

摘要

一种用于感测分配给扫描位置(P1－P5，P11－P44，Pijk)的物理属性的系统，包括用于感测在感测区域(AR1－AR5，BR1－BR2，C1－C3，D1－D3，E1－E3，F1－F4，G1－G3，H1－H4)内的物理属性的传感器(A1－A5，B)，其中感测区域(AR1－AR5，BR1－BR2，C1－C3，D1－D3，E1－E3，F1－F4，G1－G3，H1－H4)设置为每个所述区域扫过至少一个扫描位置(P1－P5，P11－P44，Pijk)，至少在一个扫描位置(P1－P5，P11－P44，Pijk)上，感测区域(AR1－AR5，BR1－BR2，C1－C3，D1－D3，E1－E3，F1－F4，G1－G3，H1－H4)相互重叠，以使每个扫描位置都被图案唯一的感测区域(AR1－AR5，BR1－BR2，C1－C3，D1－D3，E1－E3，F1－F4，G1－G3，H1－H4)扫过，同时满足下列条件：log