导电基板上液膜厚度的测量方法

摘要

本发明提供了一种导电基板上液膜厚度的测量方法。该测量方法包括：提供一电路，其具有直流电源、第一、第二两个导电探针及连接两导电探针的微电阻电流计；提供微步进控制仪将第一导电探针固定在液膜上方，第二导电探针连接到导电基板上；调节微步进控制仪，使第一导电探针向液膜移动，观察微电阻电流计的读数，当读数开始大于零时，记录此时微步进控制仪的第一刻度；继续调节微步进控制仪，使第一导电探针继续向下移动，当微电阻电流计的读数突然变大时，记录此时微步进控制仪的第二刻度；记录的微步进控制仪的第一、第二刻度的差值就是液膜的厚度。相较现有技术，本发明提供的测量方法简单，可以直接测量液膜的厚度，可以实现微米级厚度的液膜。