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利用飞秒激光实现玻璃表面选择性金属化的方法

摘要

一种利用飞秒激光实现玻璃表面选择性金属化的方法,包括下列步骤:(1)在玻璃基底上制备硝酸银薄膜;(2)利用飞秒激光聚焦在硝酸银薄膜上直写图案;(3)去除未辐照的硝酸银薄膜;(4)置入化学镀铜液中进行化学镀铜。本发明与传统金属化方法相比具有方法更简便、制备更快速、工艺更可控的特点,在多功能芯片实验室和微器件的集成特别是电学功能和热学功能的有效集成中有着很大应用潜力和实用价值。

著录项

  • 公开/公告号CN101121575A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2008-02-13

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN200710043530.4

  • 发明设计人 徐剑;程亚;廖洋;徐至展;

    申请日2007-07-06

  • 分类号C03C17/06(20060101);

  • 代理机构31213 上海新天专利代理有限公司;

  • 代理人张泽纯

  • 地址 201800 上海市800-211邮政信箱

  • 入库时间 2023-12-17 19:45:36

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-08-27

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C03C17/06 授权公告日:20101103 终止日期:20130706 申请日:20070706

    专利权的终止

  • 2010-11-03

    授权

    授权

  • 2008-04-09

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2008-02-13

    公开

    公开

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