铁电随机存取存储器装置的直接单元通路结构及制造方法

摘要

本发明提供了用于金属图案与铁电电容器的直接连接的FeRAM器件构造及其制造方法。FeRAM器件构造利用包含在导电塞中的一个或多个阻挡层的组合、包含在主导电图案或利用一种或多种贵金属形成的导电图案中的阻挡层，来抑制与传统的FeRAM构造相关的参量移位。