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压模、制造该压模的方法及利用该压模的基底的压印工艺

摘要

本发明公开了一种压模、用于制造该压模的方法以及利用该压模的基底的压印工艺。该压模能够抑制变形如收缩和膨胀,以提高具有刻在其上的精细图案的压模的尺寸准确度以及基底与压模的排列精确度。该压模包括:压模体,具有预定图案;加强部分,设置在压模体上,以加强压模体。

著录项

  • 公开/公告号CN101114120A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2008-01-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 三星电子株式会社;

    申请/专利号CN200610137180.3

  • 申请日2006-10-23

  • 分类号G03F7/00(20060101);

  • 代理机构11286 北京铭硕知识产权代理有限公司;

  • 代理人郭鸿禧;冯敏

  • 地址 韩国京畿道水原市灵通区梅滩3洞416

  • 入库时间 2023-12-17 19:41:21

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2011-01-05

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03F7/00 公开日:20080130 申请日:20061023

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2008-03-19

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2008-01-30

    公开

    公开

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