使用绝对微加工压力传感器的废气再循环系统

摘要

本发明公开了一种绝对压力传感器，该绝对压力传感器包括多个压力检测芯片和位于所述多个压力检测芯片上方的密封盖。可设有载体，压力检测芯片通过硬化的粘合剂安装到载体上。载体和压力检测芯片可附装到电路板上，该电路板组装有用于电连接到绝对压力传感器的多个表面安装部件。可设有用于在具有温度补偿的情况下数字地校准压力检测芯片的ASIC，其中ASIC在校准期间自动地控制其多个输出模式。