Robert Bosch GmbH, Stuttgart-Gerlingen, Germany;
porous silicon; epitaxy; pressure sensor; surface micromachining;
机译:通过与CMOS工艺兼容的表面微加工工艺制造的压阻式压力传感器
机译:SwIFT-Lite工艺制造的表面和大块硅微机械光学位移传感器
机译:多孔硅微加工对悬浮多晶硅膜的应力影响
机译:用多孔硅采用新型表面微机械加工制造的压力传感器单晶Si膜
机译:多孔硅的金属化和表面改性:稳定性,表面增强拉曼光谱和气体传感器研究。
机译:通过表面微加工CMOS MEMS工艺制造的压阻温度传感器
机译:多孔硅微加工制备悬臂梁用于流量传感器的特性
机译:用于高灵敏度压力传感器的硅/多孔硅复合膜