多温区发热体及其制作方法

摘要

一种用于晶体生长的多温区发热体及其制作方法，该方法是将不同阻值的发热元件组合在一起，或对一个发热筒体进行开槽处理，形成一串连的具有不同电阻值的加热电路发热体。电流通过不同阻值区段时产生不同的热量，从而形成不同的温区；通过改变各区段之间相对的阻值大小或长度大小，可以改变各温区的作用范围和梯度值。本发明不仅有利提高设置温场的灵活性，降低生长控制的难度和成本，还有利于保持温场的稳定性。