具有减小的驱动电压、耦合到紧凑的低损耗阵列波导光栅的非对称马赫－曾德干涉仪

摘要

本发明涉及一种具有减小的驱动电压、耦合到紧凑的低损耗阵列波导光栅(AWG)以提供具有低波动较宽通带的非对称马赫－曾德干涉仪(MZI)。该集成装置具有用于提高产量的紧凑的可堆叠设计。装置的输入和输出被调准成位于一条直线并布置在硅芯片的相对侧，MZI具有与AWG相反的曲率。为了实现这种调准，在光信号被结合并耦合进入AWG之前，MZI的波导臂彼此交叉而没有光耦合。