具有嵌埋于介电材料表面中的金属痕迹的相互连接元件的结构及其制造方法

摘要

提供了一种多层相互连接元件(22)，它包括至少一个介电元件(20)，其中，金属相互连接图案(12，12a)和(13，13a)暴露在其外表面(24，26)上，该金属相互连接图案具有与该介电元件的暴露外表面(24，26)是共面的外表面(21，21a)。此外，提供了多层相互连接元件(72)，其中不具有共面的相互连接图案的第二相互连接元件(70)与其整合为中间元件，所得到的多层相互连接元件具有共面的相互连接图案(86)。