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微机械与纳机械器件中的金属薄膜压阻传感及其在自感测SPM探针中的应用

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摘要

将薄金属膜用作微机电系统和纳机电系统中的压阻自感测元件。公开了该薄金属膜在AFM探针中的具体应用。

著录项

  • 公开/公告号CN101072986A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2007-11-14

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 加州理工学院;

    申请/专利号CN200580019147.4

  • 发明设计人 唐红星;李墨;M·L·鲁克斯;

    申请日2005-04-15

  • 分类号G01L1/18(20060101);

  • 代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;

  • 代理人曾祥夌;魏军

  • 地址 美国加利福尼亚州

  • 入库时间 2023-12-17 19:24:25

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2009-09-09

    发明专利申请公布后的视为撤回

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2008-01-09

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2007-11-14

    公开

    公开

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