氧化钇组合物及其制备方法以及利用该组合物形成氧化钇层的方法

摘要

本发明提供了一种颗粒尺寸等于或小于25nm的氧化钇组合物，一种制备这种组合物的方法以及一种采用这种组合物形成氧化钇层的方法。氧化钇组合物是通过将钇盐溶解于溶剂中制备钇盐溶液，并且向钇盐溶液中加入碱性化合物来调节pH值到3.7至7制备的。由于氧化钇组合物具有等于或小于25nm的颗粒尺寸和均匀的颗粒分布，因而该组合物可以形成具有改良性质的氧化钇层。