首页> 中国专利> 纳米镊子和带有纳米镊子的扫描探针显微镜

纳米镊子和带有纳米镊子的扫描探针显微镜

摘要

根据本发明的纳米镊子(1)包含:支撑元件(25);从所述支撑元件(25)向外突出,并且当观察样片的表面时被使用的观察探针(10);可动臂(20),该可动臂临近从所述支撑元件(25)向外突出的观察探针(10)设置,并且使所述观察探针(10)和所述可动臂(20)之间关闭或者打开,从而夹持或者释放被夹持在所述观察探针(10)和所述可动臂(20)之间的样品;以及驱动机构,该驱动机构驱动所述可动臂(20),从而使所述观察探针(10)和所述可动臂(20)之间关闭或者打开,并且,所述支撑元件(25)、所述观察探针(10)和所述可动臂中(20)都通过照相平版印刷术过程处理半导体晶片(30)来形成。

著录项

  • 公开/公告号CN101061059A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2007-10-24

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN200580039812.6

  • 发明设计人 桥口原;细木真保;今野隆;

    申请日2005-11-22

  • 分类号B82B1/00(20060101);B82B3/00(20060101);B81B3/00(20060101);G01B21/30(20060101);G01N13/16(20060101);

  • 代理机构11243 北京银龙知识产权代理有限公司;

  • 代理人张敬强

  • 地址 日本香川县

  • 入库时间 2023-12-17 19:20:12

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-01-12

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B82B1/00 授权公告日:20120829 终止日期:20161122 申请日:20051122

    专利权的终止

  • 2012-08-29

    授权

    授权

  • 2007-12-26

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2007-10-24

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号