薄膜晶体管、有源矩阵型显示装置及其制造方法

摘要

本发明提供一种薄膜晶体管及其制造方法和有源矩阵型显示装置及其制造方法。本发明的一种实施方式的TFT20包括：设置在TFT阵列基板(10)上的绝缘性的基底膜(21)；以及包含设置在基底膜(21)上的沟道区(222)的半导体膜(22)，沟道区(222)内的半导体膜(22)中的杂质浓度在半导体膜(22)的膜厚方向上大致恒定，在沟道区(222)内的半导体膜(22)与基底膜(21)的界面处，杂质浓度是不连续的，基底膜(21)中的杂质浓度比半导体膜(22)中的杂质浓度低，而且朝向TFT阵列基板(10)一侧单调地减少。