一种薄层微晶介质材料的光电子特性检测方法及装置

摘要

一种薄层微晶介质材料的光电子特性检测方法及装置，属于测量技术领域。所要解决的技术问题是提供具有较高灵敏度和分辨率、利用微波无接触探测的一种检测薄层微晶介质材料光电子特性方法及其装置。其技术方案是：微波源发出两路微波，一路作为参考信号等幅输入两个平衡混频器，另一路作为探测信号进入微波谐振腔；用激光照射微波谐振腔中的薄层微晶介质材料；从微波谐振腔中反射出的探测信号输入到两个平衡混频器中；平衡混频器将参考信号与探测信号混频后，利用相敏技术分离出微波吸收信号和色散信号，将吸收信号和色散信号功率的变化转化为辅出电压的变化；输出电压变化输入到计算机中，得到自由和束缚光电子信号的幅度衰减曲线。