层叠体的检查方法和散热器模块的检查方法

摘要

即使在作为散热器模块的结构部件的绝缘基板上产生了微小裂纹的情况下，也能够容易地发现绝缘耐压方面的不合适情况，能够提高对散热器模块的检查精度。散热器模块(10)具有：层叠体(12)、接合在该层叠体(12)上的散热器材料(16)、和接合在该散热器材料(16)上的电路基板(18)。层叠体(12)具有底座(20)、接合在该底座(20)上的绝缘基板(22)、和接合在该绝缘基板(22)上的中间金属板(24)。准备渗入了液体的无纺布(72)，用该无纺布(72)擦拭绝缘基板(22)中从中间金属板(24)伸出的部分(露出部分(22a)。将绝缘基板(22)的露出部分(22a)干燥至除去液体的程度。在电路基板(18)与底座(20)之间施加脉冲电压。