标线保护构件、标线运送装置、曝光装置及标线运送方法

摘要

本发明提供一种标线运送装置，即使在设置有保护十字构件的保护构件的情况下，当运送标线并在曝光装置上安装时，也可安装在适当的位置。位置测定装置29对标线1的下面上所形成的位置测定用标志26的位置进行测定，由此对标线1的位置进行测定。位置测定装置30对下盖2b的下面上所形成的位置测定用标志27的位置进行测定，并利用它们测定下盖2b的位置。如知道标线1的位置和下盖2b的位置，则可知标线1和下盖2b的相对位置偏离。由此，当利用运送装置运送搭载了标线1的下盖2b，并在曝光装置上进行设置时，借由考虑该偏离而决定下盖2b的停止位置，可将标线1在曝光装置上正确地进行设置。