活化能线固化型树脂组合物及抗蚀图案的形成方法

摘要

本发明涉及一种活化能线固化型树脂组合物及使用这种树脂组合物的抗蚀图案形成方法。在被覆于基材上形成为规定厚度的抗蚀膜的情况下，在该抗蚀膜的光谱灵敏度波长区，照射前的初期活化能线量(X)和透过该抗蚀膜后的透过活化能线量(Y)的比值(Y/X)在10％以下。