反射型光学传感器以及测量面的表面粗糙度检测方法

摘要

本发明提供反射型光学传感器以及测量面的表面粗糙度检测方法。该表面粗糙度测量用传感器的检测精度高且制造成本低廉。反射型光学传感器具有发出单一波长的光的发光器件(2)和对发光器件(2)发出的光具有受光灵敏度的两个受光器件(3f、3n)，受光器件(3f、3n)配置成各自的光轴(Xdf、Xdn)成为大致平行，发光器件(2)和受光器件(3f)配置成各自的光轴(Xe)和(Xdf)在从反射型光学传感器(1)离开预定的距离(Fa)的位置(Pxf)交叉，发光器件(2)和受光器件(3n)配置成各自的光轴(Xe)和(Xdn)在从反射型光学传感器(1)离开预定的距离(Ne)的位置(Pxn)交叉。设置反射型光学传感器(1)以使发光器件(2)的光轴(Xe)和受光器件(3f)的光轴(Xdf)交叉的受发光光轴交叉点(Pxf)位于测量点(S)，并且使发光器件(2)的光轴(Xe)和受光器件(3f)的光轴(Xdf)相对于测量点(S)处的法线(SN)成为相同角(θ)。