电解液轴向流动的微细加工方法及其专用电极喷嘴

摘要

本发明涉及一种电解液轴向流动的微细加工方法及其专用电极喷嘴，属于微细电解加工技术领域。该方法的特征在于它的电解液循环方式为：使电解液槽中的液面低于工件的加工面，利用微量溶液泵将电解液从电解液槽中抽出后经过滤器送入专用电极喷嘴，利用专用电极喷嘴使电解液沿工具电极的轴向平缓流入加工区，最后再从加工区流回电解液槽中。本发明的专用电极喷嘴由喷嘴夹头，电极套管，喷嘴内套，喷嘴外套构成。本发明能够有效地增强加工的稳定性，提高加工的精度和微细程度，制造出的高性能微器件能够满足航空航天、精密仪器、生物医疗等领域的需求。