首页> 中国专利> 一种用于平板显示器中制备ITO透明电极的刻蚀液

一种用于平板显示器中制备ITO透明电极的刻蚀液

摘要

本发明提供一种用于平板显示器中制备ITO透明电极的刻蚀液,它包含盐酸HCl和水,其特征是它还包含一定量的抑制剂和氧化剂,且它们之间按如下比例(重量比)配制:HCl∶H

著录项

  • 公开/公告号CN101003736A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2007-07-25

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN200610005365.9

  • 发明设计人 郭太良;张永爱;雷晓阳;

    申请日2006-01-17

  • 分类号C09K13/04;C23F1/16;H01J9/02;

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 361006 福建省厦门市厦门火炬开发区火炬大厦南五楼

  • 入库时间 2023-12-17 18:50:31

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2009-11-04

    发明专利申请公布后的视为撤回

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2008-02-20

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2007-07-25

    公开

    公开

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