准分子激光刻蚀ITO薄膜制备透明电极的实验研究

摘要

采用准分子激光微加工技术加工ITO透明电极，分析了准分了激光对玻璃和ITO薄膜的不同刻蚀阈值。借助高倍显微镜和三维形貌仪，讨论了准分子激光能量密度和工作台移动速度对电极加工质最的影响，最后指出在准分子激光对玻璃和ITO薄膜的两种刻蚀闽值区间内，选择较低激光能量密度和适当的工作台移动速度，有利于得到边缘较整齐侧壁倾斜度微小的透明电极。