公开/公告号CN1996181A
专利类型发明专利
公开/公告日2007-07-11
原文格式PDF
申请/专利权人 台湾积体电路制造股份有限公司;
申请/专利号CN200610172310.7
申请日2006-12-30
分类号G05B19/04;H01L21/67;H01L21/677;
代理机构隆天国际知识产权代理有限公司;
代理人高龙鑫
地址 中国台湾新竹市
入库时间 2023-12-17 18:50:31
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2009-08-12
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2007-09-05
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-07-11
公开
公开
机译: 在制品管理管理方法,在制品管理控制系统以及非暂态计算机可读存储介质
机译: 半导体在制品(WIP)调度管理方法和系统
机译: 流体分配系统的监视和/或管理方法,使用这种方法的流体分配系统以及管理方法的使用