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阳极板及包括所述阳极板的溅镀装置

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摘要

本发明涉及一种阳极板及一种包括所述阳极板的溅镀装置。所述阳极板包括基板与挡板，所述挡板设置于所述基板上，用于紧贴待溅镀的基材侧面，且挡板顶部高出所述基材的顶部。利用本发明的阳极板溅镀DLC膜层，在基材表面边缘处不产生包覆结构，膜层不易脱落。

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2011-07-13

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C14/34 公开日:20070627 申请日:20051223

发明专利申请公布后的视为撤回
2008-07-02

实质审查的生效

实质审查的生效
2007-06-27

公开

公开

1. 阳极板及包括所述阳极板的溅镀装置 [P] . 中国专利： CN1986874A . 2007-06-27
2. 溅镀载具及包括该溅镀载具的溅镀装置 [P] . 中国专利： CN101994090A . 2011-03-30
3. Apparatus for processing an Anode Plate for Electrolysis, which comprises a Transverse Transmission Device for the transmission of the Anode Plate device, a flattening of the plate and Thickness Gauge, a Lower MILLING DEVICE, a MILLING DEVICE L Method for processing ateral; an Anode Plate for Electrolysis. [P] . CL2014001537A1 . 2014-11-07

机译：一种用于处理电解阳极板的设备，该设备包括：用于传输阳极板设备的横向传输设备，板的平坦化和厚度计;下部铣削设备;铣削设备L，用于处理心房;电解阳极板。
4. Anode panel and field emission device (FED) including the anode panel [P] . 美国专利： US2008084156A1 . 2008-04-10

机译：阳极板和包括该阳极板的场发射装置（FED）
5. Anode plate for lithium secondary battery, and lithium secondary battery comprising the same [P] . 美国专利： US10297856B2 . 2019-05-21

机译：锂二次电池用阳极板及包括该阳极板的锂二次电池