具有泵束反射器的垂直外腔表面发射激光器

摘要

本发明提供一种垂直外腔表面发射激光器(VECSEL)。该VECSEL包括：半导体芯片，包括发射具有预定波长的束的有源层以及将该有源层产生的该束反射到该有源层的外部的反射层；外镜，面对该有源层且反复地将该有源层发射的束反射到该反射层从而放大该束并将该放大的束输出到外部；泵浦激光器，提供泵浦束从而激励该有源层；第二谐波生成(SHG)器件，设置在该半导体芯片与该外镜之间并且转换该有源层发射的该束的波长；及半导体过滤器或电介质过滤器，与该SHG器件耦合。该VECSEL包括能够容易地选择波长并能够容易地制造的半导体过滤器或电介质过滤器，从而具有高的光转换效率、简单、并具有低制造成本。