太阳电池硅表面生成多孔硅的方法

摘要

本发明公开了一种晶体硅太阳电池的制造方法，尤其是硅太阳电池制造工艺步骤中在晶体硅表面生成多孔硅的方法。预先在硅片表面加工出栅格状的导电网格，再将硅片进行湿法化学腐蚀处理。本发明以简单方法解决了在大面积硅片上生成多孔硅的均匀性问题，本发明的这种多孔硅生成方法可以作为太阳电池的表面微机械加工的一个工艺步骤。