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公开/公告号CN1960091A
专利类型发明专利
公开/公告日2007-05-09
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN200510117174.7
发明设计人 刘俊岐;刘峰奇;路秀真;郭瑜;梁平;胡颖;孙虹;
申请日2005-11-01
分类号H01S5/22;H01S5/343;
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人汤保平
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2023-12-17 18:33:38
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2009-03-11
发明专利申请公布后的视为撤回
2007-07-04
实质审查的生效
2007-05-09
公开
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