用于稀土－钡－铜－氧化物薄膜生长的高产量异位方法

摘要

本发明提供了一种高产量的系统，它通过加热涂覆了REBCO前体的有缓冲层的金属衬底带，从而在连续长度的有缓冲层的金属衬底带上面异位地形成诸如稀土－钡－铜的氧化物(REBCO)等超导薄膜。当在工艺室内对这些前体进行加热并引入水蒸汽时，它们发生分解，从而在缓冲层外沿形成功能性的超导薄膜。带有为产生一个很长且很宽的沉积区域而设计的喷头和衬底加热器组件的反应器，如有机金属化学蒸汽沉积(MOCVD)反应器，很适用于本系统的这一工艺。该工艺室在不加热炉壁的场合中可以是冷壁型的，而在加热炉壁的场合中可以是热壁型的。