TFT LCD阵列基板结构及非保形绝缘薄膜形成方法和应用

摘要

本发明公开了一种TFT LCD阵列基板结构，包括：基板、栅线、栅电极、栅极绝缘薄膜、有源层孤岛、数据线、源电极、漏电极、透明导电薄膜及钝化绝缘薄膜等部分，其中栅极绝缘薄膜为非保形结构或钝化绝缘薄膜为非保形结构，或栅极绝缘薄膜和钝化绝缘薄膜同时为非保形结构。本发明同时公开了两种非保形绝缘薄膜的形成方法及利用该形成方法制造的TFT LCD阵列基板结构。本发明能够消除源漏电极和像素电极断线引起的薄膜晶体管器件不可视缺陷，减少液晶显示器检测出现的坏点及提高生产成品率和优良品比例。