软X射线加工装置以及软X射线加工方法

摘要

通过使用符合软X射线的波长提高聚光效率的椭圆反射镜，来提高软X射线的能量密度，无需照射图形化了的软X射线(图形化光)和加工用的激光两者，仅用软X射线以数nm的精度加工和/或改性无机材料等被加工物。把从光源部7发射的软X射线14，用椭圆反射镜15聚光为高能量密度后以规定的图形照射到被加工物19，仅加工以规定的图形用软X射线14照射了被加工物19的部分。