粉末去除装置与废气处理机

摘要

本发明公开了一种粉末去除装置和废气处理机。废气处理机包括燃烧反应机、粉末去除装置以及废水处理槽。粉末去除装置包括主腔体、第一废气排出管、洒水组件、废水排放管以及废气排入管。主腔体具有废气入口与第一废气出口，且主腔体包括叶片阻泥板与压力量测量表，叶片阻泥板具有多个叶片。第一废气排出管的一端与第一废气出口相连，其另一端连接至废气处理机的外部。洒水组件包括第一洒水构件，第一洒水构件位于叶片阻泥板上方。废水排放管连接于主腔体的下方，废气排入管的一端与废气入口相连，其另一端连接至燃烧反应机。废水处理槽则与废水排放管相连接。采用本发明可保证废水排放管不易被阻塞。

说明书

技术领域

本发明涉及一种粉末去除装置与废气处理机，尤其涉及一种包括洒水组件的粉末去除装置与废气处理机。

背景技术

当生产台站的废气从工艺反应室被抽出后，先经过废气处理机，再作进一步处理，之后排入大气。例如，在扩散工序中，所使用的甲硅烷(SiH₄)气体为爆炸性和可燃性的气体，所以必须将SiH₄在燃烧反应室110燃烧反应成毒性较低或无毒的粉末118和气体(燃烧反应式：)。

图1为现有的废气处理机的示意图。如图1所示，废气处理机50可分为燃烧反应室110和湿式反应室120，当气体102经过炉管105排出后，在燃烧反应室110内燃烧，气体102燃烧后形成粉末118，而这些粉末118易累积于湿式反应室120的壁面，再通过喷水构件122将粉末118经由排水管124排出。但是，由于整个废气处理机50处于高温状态，故粉末118易受高温及水气的影响结成硬块126，掉落至湿式反应室120中，由于硬块126大于排水管124的管径，因而无法顺利排出，导致排水管124被阻塞。这样一来，湿式反应室120便无法顺利进行排水，致使水位上升，进而造成废气处理机50停机。废气处理机50的停机情况若时常发生，便会严重影响废气处理机50的生产能力。

图2为中国台湾专利409631号中的废气处理机。废气处理机100与图1所示的废气处理机50的差别在于增加了螺旋桨叶片146。通过马达142带动旋转杆144而使螺旋桨叶片146旋转，螺旋桨叶片146将硬块126(如图1所示)破碎，以使粉末118易于通过排水管124。但是，由于废气处理机100使用了马达142，所以耗费的能源较多，且废气处理机100为一封闭容器，无废气排放口，所以没有废气排放的功能。

发明内容

本发明的目的是提供一种粉末去除装置，以便更有效地去除粉末。

本发明的再一目的是提供一种废气处理机，其中使用所述粉末去除装置，以便更有效地去除粉末。

依据上述目的与其他目的，本发明提供的粉末去除装置适用于从废气源接收带有粉末的气体。该粉末去除装置包括主腔体、第一废气排出管、洒水组件、废水排放管以及废气排入管。主腔体具有废气入口与第一废气出口，主腔体还包括叶片阻泥板与压力量测表。叶片阻泥板被设置于废气入口与第一废气出口之间，且叶片阻泥板具有多个叶片，每一叶片呈倾斜设置。压力量测表设于主腔体的外壁上。第一废气排出管的一端与第一废气出口相连，而另一端连接至粉末去除装置的外部。洒水组件包括第一洒水构件，第一洒水构件位于第一叶片阻泥板上方。废水排放管连接于主腔体下方，用以排放主腔体内的废水。废气排入管的一端与废气入口相连，而另一端连接至废气源以接收带有粉末的气体。

依照本发明一优选实施方式所述的粉末去除装置，该装置还包括第二废气排出管，主腔体具有第二废气出口，第二废气排出管的一端与第二废气出口相连，其另一端连接至粉末去除装置的外部。

依照本发明另一优选实施方式所述的粉末去除装置，该装置还包括至少一第二洒水构件，第二洒水构件设置于叶片阻泥板下方及主腔体内部的侧壁。

依照本发明又一优选实施方式所述的粉末去除装置，该装置还包括多孔板，多孔板具有多个孔洞并设于叶片阻泥板与废气入口之间。

依照本发明再一优选实施方式所述的粉末去除装置，其中，主腔体具有两个叶片阻泥板，且主腔体还包括设于所述叶片阻泥板之间的填充物。

依照本发明另一优选实施方式所述的粉末去除装置，废水排放管的材料包括透明材料。

依照本发明又一优选实施方式所述的粉末去除装置，主腔体的内径大于废气排入管的内径。

依照本发明再一优选实施方式所述的粉末去除装置，其中，废水排放管具有阀门，当主腔体内部的压力大于一定值时，启动洒水组件，并使阀门开启。

依据上述目的与其他目的，本发明提供一种废气处理机，该废气处理机包括燃烧反应机、粉末去除装置以及废水处理槽。粉末去除装置包括主腔体、第一废气排出管、洒水组件、废水排放管以及废气排入管。主腔体具有废气入口与第一废气出口，主腔体包括叶片阻泥板与压力量测表。叶片阻泥板置于废气入口与第一废气出口之间，且叶片阻泥板具有多个叶片，其中每一叶片呈倾斜设置，而压力量测表设于主腔体的外壁上。第一废气排出管的一端与第一废气出口相连，其另一端连接至废气处理机的外部。洒水组件包括第一洒水构件，此第一洒水构件位于叶片阻泥板上方。废水排放管连接于主腔体下方，用以排放主腔体内的废水。废气排入管的一端与废气入口相连，其另一端连接至燃烧反应机。废水处理槽则与废水排放管相连接。

依照本发明一优选实施方式所述的废气处理机，其粉末去除装置还包括第二废气排出管，主腔体具有第二废气出口，第二废气排出管的一端与第二废气出口相连，其另一端连接至废气处理机的外部。

依照本发明的另一优选实施方式所述的废气处理机，其粉末去除装置还包括至少一个第二洒水构件，第二洒水构件设置于叶片阻泥板下方及主腔体内部的侧壁。

依照本发明再一优选实施方式所述的废气处理机，其粉末去除装置还包括多孔板，该多孔板具有多个孔洞并设于叶片阻泥板与废气入口之间。

依照本发明又一优选实施方式所述的废气处理机，所述主腔体具有两个叶片阻泥板，且主腔体还包括设于所述叶片阻泥板之间的填充物。

依照本发明另一优选实施方式所述的废气处理机，所述废水排放管的材料包括透明材料。

依照本发明的再一优选实施方式所述的废气处理机，所述主腔体的内径大于废气排入管的内径。

依照本发明的又一优选实施方式所述的废气处理机，其中，废水排放管具有阀门，当主腔体内部的压力大于一定值时，启动洒水组件，并使阀门开启。

本发明因采用了洒水组件可使粉末溶入水中，从而达到除去粉末的目的。而且，叶片具有倾斜角度，能产生足够的扰流，达到阻却粉末的效果。此外，在两叶片阻泥板之间放置填充物，可增加粉末接触面积，达到密集阻拦的效果。多孔板由于具有多个孔洞，可以拦截筛离较大的聚泥物，这些被拦截筛离的聚泥物经由洒水组件冲击散离后，再经由废水排放管导入沉积槽，如此一来废水排放管不易被阻塞。

附图说明

为使本发明的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文结合附图对本发明的优选实施方式进行详细说明。

图1为现有废气处理机的示意图；

图2为专利409631号所披露的废气处理机的示意图；

图3为本发明一实施方式的废气处理机的示意图；

图4为图3所示的叶片阻泥板的示意图；

图5为本发明另一实施方式的废气处理机的示意图。

附图标记说明

50、100                   废气处理机

102                       气体

105                       炉管

110                       燃烧反应室

118                       粉末

120                       湿式反应室

122                       喷水构件

124                       排水管

126                       硬块

142                       马达

144                       旋转杆

146                       螺旋桨叶片

200、300                  废气处理机

202                       燃烧反应机

204                       废水处理槽

210、310                  粉末去除装置

212                       主腔体

212a                      第一废气出口

212b                      废气入口

212c                      第二废气出口

214、214a                 叶片阻泥板

216                       叶片

222                       第一废气排出管

224                       洒水组件

226                       第一洒水构件

226a、232a                阀门

228                       第二洒水构件

232                       废水排放管

234                       废气排入管

236                       第二废气排出管

238                       多孔板

242                       压力量测表

244                       填充物

具体实施方式

图3为本发明一实施方式的废气处理机。请参见图3，废气处理机200包括燃烧反应机202、粉末去除装置210以及废水处理槽204。粉末去除装置210包括主腔体212、第一废气排出管222、洒水组件224、废水排放管232以及废气排入管234。主腔体212具有废气入口212b与第一废气出口212a，主腔体212包括叶片阻泥板214与压力量测表242，压力量测表242设于主腔体212上。第一废气排出管222的一端与第一废气出口212a相连，而另一端连接至废气处理机200的外部。在图3中，洒水组件224为第一洒水构件226，此第一洒水构件226位于第一叶片阻泥板214上方。废水排放管232连接于主腔体212下方，废气排入管234的一端与废气入口212b相连，而另一端连接至燃烧反应机202。废水处理槽204则与废水排放管232相连接。

图4为图3所示的叶片阻泥板的示意图。请同时参见图3与图4，叶片阻泥板214设置于废气入口212b与废气出口212a之间，且叶片阻泥板214具有多个叶片216，其中每一叶片216相对于方向y呈一倾斜角度。

请再参见图3，当生产台站(未示出)的废气(例如：SiH₄)从工艺反应室(未示出)被抽出后，先被送至废气处理机200的燃烧反应机202，燃烧反应成毒性较低或无毒的气体或粉末(例如：SiO₂)。之后，经由废气排入管234将毒性较低或无毒的气体或粉末排入主腔体212。其中，叶片阻泥板214因具有多个叶片216(参见图4)、且每一叶片216相对于方向y呈一倾斜角度，所以可产生足够的扰流以达到拦阻粉末的效果，这样便能防止粉末在第一废气排出管222上沉积而阻塞第一废气排出管222。被拦阻的粉末将沉积于叶片阻泥板214的叶片216与主腔体212的侧壁上，随着累积的粉末增多，主腔体212内的压力(例如：静压力)便会升高，当压力量测表242所测量到的压力大于一定值时，则可利用手动或自动的方式开启第一洒水构件226的阀门226a，使其喷射出高压水柱，以冲离沉积于叶片216或主腔体212上的粉末。此时，开启废水排放管232上的阀门232a，被冲离的粉末随水经由废水排放管232而排放至废水处理槽204。粉末在废水处理槽204中进行沉淀，净化后的水再经由废水排放管232排放至废气处理机200外部。

图5示出了本发明另一实施方式的废气处理机。在图5中，与图3相同的元件以相同的附图标记表示。图5所示的废气处理机300除了具有与图3所示的废气处理机200相同的元件外，此废气处理机300的粉末去除装置310还包括第二废气排出管236、多孔板238与填充物244，而洒水组件224则还包括第二洒水构件228，第二洒水构件228设置于叶片阻泥板214下方及主腔体212内部的侧壁(在图5中，第二洒水装置228共有两个，当然也可依据情况设置一个或三个以上)。第二废气排出管236与主腔体212的第二废气出口212c相连，多孔板238具有多个孔洞并设于叶片阻泥板214与废气入口212b之间，而填充物244则设于叶片阻泥板214与叶片阻泥板214a之间。此外，主腔体212的内径大于废气排入管234的内径。

请继续参见图5，当毒性较低或无毒的气体或粉末排入主腔体212中时，由于主腔体212的内径大于废气排入管234的内径，所以当气体由废气排入管234流至主腔体212时，气体的流速减慢，粉末便易于沉积在主腔体212中。一部分粉末随气体到达多孔板238，因为多孔板238具有多个孔洞(未示出)，可以拦截颗粒较大的粉末。较小的粉末则通过多孔板238而到达叶片阻泥板214。在一优选实施方式中，主腔体212具有两个叶片阻泥板214、214a，叶片216(请参照图4)相对于y方向的夹角为45°，而叶片阻泥板214、214a的开口比达95％。如此一来，叶片阻泥板214、214a便能产生足够的扰流以达到拦阻粉末的效果。此外，在叶片阻泥板214与叶片阻泥板214a间设置填充物244，使粉末的接触面积增加，以达到拦阻更多粉末的效果。这样便可防止粉末在第一废气排出管222和/或第二废气排出管236上沉积而造成第一废气排出管222和/或第二废气排出管236阻塞。与图3相比，图5中增设第二废气排出管236的目的在于减轻第一废气排出管222的负担，且若第一废气排出管222与第二废气排出管236其中之一出现阻塞，则第一废气排出管222与第二废气排出管236中的另一仍能够继续将废气排出至废气处理机300的外部。

请再参见图5，被拦阻的粉末将沉积于叶片阻泥板214的叶片216、多孔板238与主腔体212的侧壁上，当累积的粉末增多时，将阻碍废气的流通，主腔体212内的压力(例如：静压力)因而升高，当压力量测表242所测量到的压力大于一定值时，启动洒水组件224，并使阀门232a开启。第一洒水构件226所喷射出的高压水柱主要用以冲离附着在叶片阻泥板214与填充物244上的粉末，而第二洒水构件228所喷射出的高压水柱则用以冲离附着在多孔板238与主腔体212上的粉末。此时，被冲离的粉末将随水经由废水排放管232而排放至废水处理槽204。废水排放管232的材料为透明材料，使用者可由此观察到废水排放管232内的状况。粉末在废水处理槽204中进行沉积，净化后的水再经由废水排放管232排放至废气处理机300外部。

需注意的是，图3所示的粉末去除装置210与图5所示的粉末去除装置310皆连接到燃烧反应机202。然而，粉末去除装置210、310其实可以连接到其他种类的废气源，若这些废气源产生带有粉末的气体，粉末去除装置210、310便能发挥功能，将气体中的粉末去除。

综上所述，本发明的废气处理机具有以下优点：

1.洒水组件的设置可使粉末溶入水中，以达到除去粉末的目的。

2.叶片阻泥板上的叶片呈一倾斜角度，所以能产生足够的扰流，而达到阻却粉末的效果。

3.在叶片阻泥板之间放置填充物，可增加粉末接触面积，达到密集阻拦的效果。

4.多孔板具有多个孔洞，可以拦截筛离较大的聚泥物。

5.第二废气排出管的设置可减轻第一废气排出管的负担，同时当第一废气排出管与第二废气排出管其中之一出现阻塞时，则第一废气排出管与第二废气排出管中的另一仍能够继续将废气排出至废气处理机的外部。

虽然上面对本发明的优选实施方式进行了描述，但这并非是对本发明的限制，本领域任何技术人员在不超出本发明的构思和范围的前提下，可作出一些变换与润饰，因此本发明的保护范围应以所附的权利要求所界定的范围为准。