轴对称两镜系统中的二次曲面镜面形的修正检测方法

摘要

本发明公开了一种轴对称两镜系统中的二次曲面镜面形的修正检测方法，该方法是利用经典两镜系统轴上点成完善像的特性，实现轴对称两镜系统中的二次曲面镜的面形修正控制和像质精确测量。本发明的优点是：能够直接保证两镜系统主、次镜的实际面形、光学参数与理论设计值的一致性；具体检验的操作过程简单、容易；不需要使用补偿器，能够有效缩短光学加工的周期，节约研制成本。