用脉冲射频等离子体控制薄膜制备中的尘埃颗粒的方法

摘要

本发明属于低温等离子体化学领域。其特征是：对射频电源进行脉冲调制，就是使射频在一段时间内输出(射频工作)，下一段时间内不输出(射频休止)，二者交替进行，即射频工作方式是脉冲的；对射频电源可以一重调制，也可二重或多重调制；调节脉冲调制的频率和占空比，控制尘埃颗粒的大小，并在射频休止时间内将尘埃颗粒抽走；在这个阶段，可以选择适当的尘埃颗粒让其掺入制备的薄膜中。本发明的效果和益处是可控制等离子体中尘埃颗粒的大小，可对薄膜的性质进行适当的控制，可广泛用于沉积薄膜的各种领域，带来巨大的经济效益。