对于反射和透射的空间外差干涉测量法(SHIRT)测量

摘要

描述了用于对于反射和透射的空间外差干涉测量法(SHIRT)测量的系统和方法。方法包括：通过使用第一参考光束和第一物体光束数字记录第一空间外差的全息图；通过使用第二参考光束和第二物体光束数字记录第二空间外差的全息图；傅利叶分析数字记录的第一空间外差的全息图，以定义第一分析的图像；傅利叶分析数字记录的第二空间外差的全息图，以定义第二分析的图像；数字滤波第一分析的图像，定义第一结果；以及数字滤波第二分析的图像，定义第二结果；对第一结果执行第一逆傅利叶变换，和对第二结果执行第二逆傅利叶变换。第一物体光束透过至少是部分半透明的物体(940，1045)以及第二物体光束从物体反射。